<div class="csl-bib-body">
<div class="csl-entry">Platz, D., Stixenberger, M., Loch Gesing, A., Ignat, I., Kähler, H., & Schmid, U. (2024, June). <i>Anchor Losses in MEMS Plate Resonators of Finite Width</i> [Conference Presentation]. MESS24 - Microelectronic Systems Symposium, Wien, Austria. http://hdl.handle.net/20.500.12708/209032</div>
</div>
-
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/209032
-
dc.language.iso
en
-
dc.subject
Anchor Losses
en
dc.subject
MEMS
en
dc.subject
Plate Resonators
en
dc.title
Anchor Losses in MEMS Plate Resonators of Finite Width
-
dc.type
Presentation
en
dc.type
Vortrag
de
dc.contributor.affiliation
TU Wien, Austria
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dc.contributor.affiliation
E366-02
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dc.type.category
Conference Presentation
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tuw.researchTopic.id
C6
-
tuw.researchTopic.name
Modeling and Simulation
-
tuw.researchTopic.value
100
-
tuw.publication.orgunit
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
-
tuw.author.orcid
0000-0002-5923-0279
-
tuw.event.name
MESS24 - Microelectronic Systems Symposium
en
tuw.event.startdate
06-06-2024
-
tuw.event.enddate
07-06-2024
-
tuw.event.online
On Site
-
tuw.event.type
Event for scientific audience
-
tuw.event.place
Wien
-
tuw.event.country
AT
-
tuw.event.institution
OVE Österreichischer Verband für Elektrotechnik
-
tuw.event.presenter
Platz, Daniel
-
tuw.event.track
Single Track
-
wb.sciencebranch
Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik
-
wb.sciencebranch.oefos
2020
-
wb.sciencebranch.value
100
-
item.languageiso639-1
en
-
item.openairetype
conference paper not in proceedings
-
item.grantfulltext
none
-
item.fulltext
no Fulltext
-
item.cerifentitytype
Publications
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item.openairecristype
http://purl.org/coar/resource_type/c_18cp
-
crisitem.author.dept
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
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crisitem.author.dept
E366-02
-
crisitem.author.dept
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
-
crisitem.author.dept
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
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crisitem.author.dept
E366-01 - Forschungsbereich Mikro- und Nanosensorik
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crisitem.author.dept
E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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crisitem.author.orcid
0000-0002-5923-0279
-
crisitem.author.orcid
0000-0002-0970-3875
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crisitem.author.parentorg
E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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crisitem.author.parentorg
E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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crisitem.author.parentorg
E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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crisitem.author.parentorg
E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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crisitem.author.parentorg
E350 - Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
