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<div class="csl-entry">Gesing, A. L., Huber, D., Steinmüller-Neth, D., Pfusterschmied, G., Platz, D., & Schmid, U. (2024). Modeling polycrystalline diamond MEMS resonators. In <i>19th International Workshop on Nanomechanical Sensing</i> (pp. 114–114).</div>
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http://hdl.handle.net/20.500.12708/210183
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dc.language.iso
en
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dc.subject
MEMS resonators
en
dc.subject
polycrystalline diamond
en
dc.subject
modeling
en
dc.title
Modeling polycrystalline diamond MEMS resonators
en
dc.type
Inproceedings
en
dc.type
Konferenzbeitrag
de
dc.contributor.affiliation
CarbonCompetence GmbH, Germany
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dc.description.startpage
114
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dc.description.endpage
114
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dc.type.category
Abstract Book Contribution
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tuw.booktitle
19th International Workshop on Nanomechanical Sensing
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C6
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Modeling and Simulation
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100
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E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
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E366-01 - Forschungsbereich Mikro- und Nanosensorik
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tuw.publication.orgunit
E056-15 - Fachbereich Resilient Embedded Systems
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dc.description.numberOfPages
1
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tuw.author.orcid
0000-0002-0970-3875
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tuw.author.orcid
0000-0002-5923-0279
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tuw.event.name
19th International Workshop on Nanomechanical Sensing
en
tuw.event.startdate
24-06-2024
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tuw.event.enddate
27-06-2024
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tuw.event.online
On Site
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tuw.event.type
Event for scientific audience
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tuw.event.place
Vienna
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tuw.event.country
AT
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tuw.event.presenter
Gesing, André L.
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Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik
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2020
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conference paper
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restricted
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no Fulltext
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Publications
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http://purl.org/coar/resource_type/c_5794
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crisitem.author.dept
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
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crisitem.author.dept
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crisitem.author.dept
CarbonCompetence GmbH, Germany
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crisitem.author.dept
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
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crisitem.author.dept
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
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crisitem.author.dept
E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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crisitem.author.orcid
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0000-0002-5923-0279
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E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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crisitem.author.parentorg
E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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E350 - Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
