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<div class="csl-entry">Moser, M. A. (2025). <i>Doping profiling and scanning electron microscopy on SiC devices</i> [Dissertation, Technische Universität Wien]. reposiTUm. https://doi.org/10.34726/hss.2025.106907</div>
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dc.identifier.uri
https://doi.org/10.34726/hss.2025.106907
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/219571
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dc.description
Arbeit an der Bibliothek noch nicht eingelangt - Daten nicht geprueft - gesperrte Arbeit (bis 2027-07-24+02:00)
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dc.description
Abweichender Titel nach Übersetzung der Verfasserin/des Verfassers
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dc.language
English
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dc.language.iso
en
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dc.rights.uri
http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/
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dc.subject
Rasterelektronenmikroskopie
de
dc.subject
SiC
de
dc.subject
Dotieungsrprofile
de
dc.subject
Scanning Electron Microscopy
en
dc.subject
SiC
en
dc.subject
Doping profiling
en
dc.title
Doping profiling and scanning electron microscopy on SiC devices
en
dc.title.alternative
Dotierungsprofile und Rasterelektronenmikroskopie an SiC-Bauelementen
