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<div class="csl-entry">Bammer, F. (2025, September). Industrielle Schichtkontrolle mit Polarisation und Ellipsometrie. <i>Laser Photonics Professional</i>, <i>05/2025</i>, 6–11. http://hdl.handle.net/20.500.12708/225187</div>
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/225187
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dc.description.abstract
Beschichtungen präzise auf der Nanometerskala zu überwachen ist eine häufige Aufgabe industrieller Prozesse - von der Halbleiter- über die Batteriefertigung bis zur Herstellung von PET-Flaschen. Forschende der TU Wien bringen die Ellipsometrie aus dem Labor in die Produktionslinie; sie nutzen daür Polarisationskameras mit hoher Auflösung und Bildrate.
de
dc.language.iso
de
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dc.subject
Ellipsometrie
de
dc.title
Industrielle Schichtkontrolle mit Polarisation und Ellipsometrie
