<div class="csl-bib-body">
<div class="csl-entry">Bammer, F. (2025, August 7). <i>Polarisation und Ellipsometrie: Bildgebung jenseits des Sichtbaren</i> [Interview]. Industriemacher. http://hdl.handle.net/20.500.12708/225188</div>
</div>
-
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/225188
-
dc.description.abstract
Die Forschungsgruppe Prozesstechnik am Institut für Fertigungstechnik und Photonische Technologien der TU Wien hat ein echtzeitfähiges System zur Inline-Überwachung der Qualität von Schichten entwickelt und setzt dabei auf Polarisationskameras von SVS-Vistek.
de
dc.language.iso
de
-
dc.publisher
Industriemacher
-
dc.subject
Ellipsometrie
de
dc.subject
Qualitätssicherung
de
dc.subject
Inline Messtechnik
de
dc.subject
Schichtdickenbestimmung
de
dc.subject
Schichtdickenmessung
de
dc.title
Polarisation und Ellipsometrie: Bildgebung jenseits des Sichtbaren
