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<div class="csl-entry">Bammer, F. (2025, August). Polarisation und Ellipsometrie: Türöffner für perfekte Schichtqualitäten. <i>electronic fab</i>, <i>3/2025</i>, 24–25. http://hdl.handle.net/20.500.12708/225189</div>
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/225189
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dc.description.abstract
Die Forschungsgruppe „Prozesstechnik“ am Institut für Fertigungstechnik und Photonische Technologien der
TU Wien hat ein echtzeitfähiges System zur Inline-Überwachung der Qualität von Schichten entwickelt und setzt dabei auf Polarisationskameras von SVS-Vistek.
de
dc.language.iso
de
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dc.subject
Qualitätssicherung
de
dc.subject
Ellipsometrie
de
dc.subject
Inline Messtechnik
de
dc.subject
Schichtdicke
de
dc.title
Polarisation und Ellipsometrie: Türöffner für perfekte Schichtqualitäten
