Bildverarbeitungsbasierte Polarisationssysteme haben
sich in den vergangenen Jahren für bestimmte Auf-
gabenstellungen als zuverlässige Lösungstechnologie
etabliert: Durch Transmissions-Untersuchungen und auf
Grundlage photoelastischer Effekte ist es möglich,
Spannungszustände in transparenten Materialien zu
erkennen und zu beurteilen. Die Forschungsgruppe Pro-
zesstechnik am Institut für Fertigungstechnik und Photo-
nische Technologien der TU Wien hat nun ein echtzeit-
fähiges System zur Inline-Überwachung der Qualität von
Schichten entwickelt – und setzt dabei auf Ellipsometrie,
ein relativ neues bildgebendes Verfahren im Bereich der
Polarisation. Umgesetzt wurde das Ellipsometrie-Projekt
mit Polarisationskameras des deutschen Herstellers
SVS-Vistek.
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Additional information:
Austromatisierung 7/2025
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Research Areas:
Photonics: 30% Sustainable Production and Technologies: 70%
