Alleskönner: dünne Schichten

Abstract

The properties of a structural material can be synergetically complemented by a thin layer (<~5 μm) of another material with functional properties. The most important coating technologies are wet chemical and gas phase methods, such as chemical and physical vapor deposition (CVD and PVD) or sol-gel, layer-by-layer and electrochemical methods. The case studies presented in this article are layers with different functions in integrated circuits, transparent conducting oxide films, corrosion protection layers and antimicrobial and flame-retarding coatings.

Die stofflichen Eigenschaften eines Strukturwerkstoffs lassen sich durch eine dünne Schicht (<~5 μm) eines anderen Materials mit funktionellen Eigenschaften synergetisch ergänzen. Als wichtigste Beschichtungsmethoden kommen nasschemische und Gasphasen-Verfahren zum Einsatz, wie etwa chemische und physikalische Gasphasenabscheidung (CVD und PVD) oder Sol-Gel-, layer-by-layer und elektrochemische Methoden. Als Fallbeispiele werden Schichten unterschiedlicher Funktion in integrierten Schaltungen, transparente leitfähige Oxidfilme, Korrosionsschutzschichten sowie antimikrobielle und flammhemmende Beschichtungen erläutert.