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<div class="csl-entry">Kügler, P. M. (2022). <i>Investigation and optimization of backside metallizations for interconnects in semiconductor devices</i> [Dissertation, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/79051</div>
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/79051
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dc.description
Arbeit an der Bibliothek noch nicht eingelangt - Daten nicht geprueft - gesperrte Arbeit (bis 2025-07-11+02:00)
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dc.description
Abweichender Titel nach Übersetzung der Verfasserin/des Verfassers
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dc.format
129 Seiten
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dc.language
English
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dc.language.iso
en
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dc.subject
Metallisierungen
de
dc.subject
Halbleiter
de
dc.subject
ToF-SIMS
de
dc.subject
Metallizations
en
dc.subject
Semiconductors
en
dc.subject
ToF-SIMS
en
dc.title
Investigation and optimization of backside metallizations for interconnects in semiconductor devices
en
dc.title.alternative
Untersuchung und Optimierung von Rückseitenmetallisierungen für Verbindungsstellen in Halbleiterprodukten
de
dc.type
Thesis
en
dc.type
Hochschulschrift
de
dc.contributor.affiliation
TU Wien, Österreich
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dc.publisher.place
Wien
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tuw.thesisinformation
Technische Universität Wien
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tuw.publication.orgunit
E164 - Institut für Chemische Technologien und Analytik
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dc.type.qualificationlevel
Doctoral
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dc.identifier.libraryid
AC16574899
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dc.description.numberOfPages
129
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dc.thesistype
Dissertation
de
dc.thesistype
Dissertation
en
tuw.advisor.staffStatus
staff
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item.languageiso639-1
en
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item.openairetype
doctoral thesis
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item.grantfulltext
none
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item.fulltext
no Fulltext
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item.cerifentitytype
Publications
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item.openairecristype
http://purl.org/coar/resource_type/c_db06
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crisitem.author.dept
E164-01-2 - Forschungsgruppe Oberflächen-, Spurenanalytik und Chemometrie
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crisitem.author.parentorg
E164-01 - Forschungsbereich Imaging und Instrumentelle Analytische Chemie
