DC Field
Value
Language
dc.contributor.advisor
Hutter, Herbert
-
dc.contributor.author
Petschnigg, Madeleine
-
dc.date.accessioned
2022-09-02T05:25:24Z
-
dc.date.issued
2021
-
dc.date.submitted
2021-02
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dc.identifier.citation
<div class="csl-bib-body"> <div class="csl-entry">Petschnigg, M. (2021). <i>Development and characterization of PZT thin films for MEMS applications</i> [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/79751</div> </div>
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/79751
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dc.description
Zusammenfassung in deutscher Sprache
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dc.description
Abweichender Titel nach Übersetzung der Verfasserin/des Verfassers
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dc.format
vii, 84, xxx Seiten
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dc.language
English
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dc.language.iso
en
-
dc.subject
Thin films
en
dc.subject
PZT
en
dc.subject
MEMS
en
dc.title
Development and characterization of PZT thin films for MEMS applications
en
dc.title.alternative
Entwicklung und Charakterisierung von PZT-Dünnschichten für MEMS-Anwendungen
de
dc.type
Thesis
en
dc.type
Hochschulschrift
de
dc.contributor.affiliation
TU Wien, Österreich
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dc.publisher.place
Wien
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tuw.thesisinformation
Technische Universität Wien
-
tuw.publication.orgunit
E164 - Institut für Chemische Technologien und Analytik
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dc.type.qualificationlevel
Diploma
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dc.identifier.libraryid
AC16148345
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dc.description.numberOfPages
84
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dc.thesistype
Diplomarbeit
de
dc.thesistype
Diploma Thesis
en
tuw.advisor.staffStatus
staff
-
item.languageiso639-1
en
-
item.openairetype
master thesis
-
item.grantfulltext
none
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item.fulltext
no Fulltext
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item.cerifentitytype
Publications
-
item.openairecristype
http://purl.org/coar/resource_type/c_bdcc
-
crisitem.author.dept
TU Wien
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Thesis
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