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<div class="csl-entry">Larisegger, S. (2015). <i>Corrosion phenomena and corrosion prevention of copper electrodes in semiconductor devices</i> [Dissertation, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/79970</div>
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/79970
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dc.description
Zusammenfassung in deutscher Sprache
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dc.description
Abweichender Titel laut Übersetzung der Verfasserin/des Verfassers
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dc.description.abstract
Es wurde ein Korrosionstest für Cu-Strukturen auf verschiedenen Substraten entwickelt; damit wurden elektrochemische Korrosionsmechanismen wie Dendritenbildung und Pitting untersucht und Maßnahmen zum Korrosionsschutz bewertet.
de
dc.description.abstract
A corrosion test for Cu structures in various substrates was developed. By this test, electrochemical corrosion mechanisms such as dendrite formation and pitting were studied, and anti-corrosion measured were assessed
en
dc.format
iii, 169 Bl.
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dc.language
English
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dc.language.iso
en
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dc.subject
TOF-SIMS
de
dc.subject
Korrosion
de
dc.subject
ToF-SIMS
en
dc.subject
Corrosion
en
dc.title
Corrosion phenomena and corrosion prevention of copper electrodes in semiconductor devices
en
dc.title.alternative
Korrosionseffekte und Korrosionsschutz an Kupferelektroden in Halbleiterbauelementen
de
dc.type
Thesis
en
dc.type
Hochschulschrift
de
dc.contributor.affiliation
TU Wien, Österreich
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tuw.thesisinformation
Technische Universität Wien
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dc.contributor.assistant
Hutter, Herbert
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dc.type.qualificationlevel
Doctoral
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dc.identifier.libraryid
AC12275436
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dc.description.numberOfPages
169
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dc.thesistype
Dissertation
de
dc.thesistype
Dissertation
en
tuw.advisor.staffStatus
staff
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tuw.assistant.staffStatus
staff
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item.languageiso639-1
en
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item.openairetype
doctoral thesis
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item.grantfulltext
none
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item.fulltext
no Fulltext
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item.cerifentitytype
Publications
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item.openairecristype
http://purl.org/coar/resource_type/c_db06
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crisitem.author.dept
E164 - Institut für Chemische Technologien und Analytik
