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<div class="csl-entry">Senger, K. (2017). <i>Umbau und Charakterisierung eines Hochtemperaturleckstrommessplatzes</i> [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/80110</div>
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/80110
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dc.description
Abweichender Titel nach Übersetzung der Verfasserin/des Verfassers
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dc.description.abstract
Dem Leckstromverhalten von Isolationsmaterialien kommt eine zentrale Rolle in der Funktionalität und der Langzeitstabilität elektrischer, aber auch elektro-mechanischer Bauelemente und Systeme zu. Deshalb ist es wichtig dieses Verhalten so gut wie möglich in allen Umgebungssituationen zu charakterisieren. In dieser Arbeit wird beschrieben, wie ein selbstgebauter Messplatz bestehend aus einem robusten Probenhalter, Manipulatoren zur elektrischen Kontaktierung der Proben und einem Carbonheizer in einer Vakuumkammer, mit dem Ziel modifiziert wurde, Hochtemperaturleckstrommessungen bis zu 600°C durchführen zu können. Die größte Herausforderung dabei stellt der die präzise Messung der geringen Leckströme dar, die vielen Störungsmöglichkeiten unterliegt. Dafür mussten einige Umbauten am Messplatz durchgeführt und die Probengeometrie verändert werden. Außerdem wurden Messungen durchgeführt, um die Funktionsfähigkeit zu überprüfen.
de
dc.description.abstract
Isolators, ranging in microelectronics and MEMS (micro electro-mechanical systems) from simple passivation layers to key elements in active devices such as high-k materials, play a central role in functionality and long-term performance. Therefore the characterization of leakage current behavior is very important for the design of these devices and systems. Depending on the application, the environment in which the devices and systems are operated can influence the leakage current substantially. Therefore in this thesis an attempt was made to modify an existing custom-built measurement setup such, that leakage current measurements can be performed up to temperatures of 600°C. In this process changes were made both to the measurement setup and to the geometrical structure of the test samples. Finally, first measurements were made to evaluate the performance of the modified equipment.
en
dc.format
V, 53 Blätter
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dc.language
Deutsch
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dc.language.iso
de
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dc.subject
Leckstrom
de
dc.subject
Dünnschichten
de
dc.subject
Isolatoren
de
dc.subject
Messaufbau
de
dc.subject
Leakage current
en
dc.subject
Thin films
en
dc.subject
Isolators
en
dc.subject
Measurement
en
dc.title
Umbau und Charakterisierung eines Hochtemperaturleckstrommessplatzes
de
dc.title.alternative
Modification and characterization of a high temperature measurement setup for leakage current