Mikrosystemtechnik Kongress 2009 - Proceedings

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Mikrosystemtechnik Kongress 2009 - Proceedings
 
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VDE Verlag
 

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PreviewAuthors / EditorsTitleTypeIssue Date
1Klein, S. ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich ; Seidel, Helmut CMOS kompatible RF MEMS SchalterKonferenzbeitrag Inproceedings2009
2Bittner, Achim ; Klein, S. ; Seidel, Helmut ; Schwanke, Dieter ; Schmid, Ulrich Einfluss der Abscheideparameter auf die Mikrostruktur von Silberdünnfilmen auf LTCCKonferenzbeitrag Inproceedings2009
3Grosser, M. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich Einfluss der Sputterparameter auf Morphologie, Phasenbildung und elektrische Eigenschaften von dünnen TantalschichtenKonferenzbeitrag Inproceedings2009
4Ababneh, A. ; Schmid, Ulrich ; Hernando-Garcia, J. ; Sànchez-Rojas, Jose Luis ; Seidel, Helmut Ermittlung der piezoelektrischen Koeffizienten von AlN-Dünnfilmen mit unterschiedlicher KristallorientierungKonferenzbeitrag Inproceedings2009
5Matovic, Jovan ; Adamovic, Nadja ; Schmid, Ulrich ; Jaksic, Zoran Nanomembranes - a link between MEMS and NEMSKonferenzbeitrag Inproceedings2009