Mikrosystemtechnik Kongress 2009 - Proceedings
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Mikrosystemtechnik Kongress 2009 - Proceedings
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VDE Verlag
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| Preview | Authors / Editors | Title | Type | Issue Date | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | Klein, S. ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich ; Seidel, Helmut | CMOS kompatible RF MEMS Schalter | Konferenzbeitrag Inproceedings | 2009 | |
| 2 | Bittner, Achim ; Klein, S. ; Seidel, Helmut ; Schwanke, Dieter ; Schmid, Ulrich | Einfluss der Abscheideparameter auf die Mikrostruktur von Silberdünnfilmen auf LTCC | Konferenzbeitrag Inproceedings | 2009 | |
| 3 | Grosser, M. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich | Einfluss der Sputterparameter auf Morphologie, Phasenbildung und elektrische Eigenschaften von dünnen Tantalschichten | Konferenzbeitrag Inproceedings | 2009 | |
| 4 | Ababneh, A. ; Schmid, Ulrich ; Hernando-Garcia, J. ; Sànchez-Rojas, Jose Luis ; Seidel, Helmut | Ermittlung der piezoelektrischen Koeffizienten von AlN-Dünnfilmen mit unterschiedlicher Kristallorientierung | Konferenzbeitrag Inproceedings | 2009 | |
| 5 | Matovic, Jovan ; Adamovic, Nadja ; Schmid, Ulrich ; Jaksic, Zoran | Nanomembranes - a link between MEMS and NEMS | Konferenzbeitrag Inproceedings | 2009 |