Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2013

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Proceedings MikroSystemTechnik Kongress 2013
 
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VDE VERLAG GMBH, Berlin und Offenbach, Bismarckstraße 33, 10625 Berlin
 

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1Steinhäußer, Frank ; Talai, Armin ; Koelpin, Alexander ; Weigel, Robert ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich Einfluss der Materialverteilung in porosizierter LTCC auf die effektive Permittivität durch finite 3D Feld-SimulationKonferenzbeitrag Inproceedings2013
2Bittner, Achim ; Backes, Andreas ; Schmid, Ulrich Elektromigrationsverhalten von Silberdünnfilmen auf LTCCKonferenzbeitrag Inproceedings2013
3Backes, Andreas ; Patocka, Florian ; Walkoun, P. ; Schmid, Ulrich Poröses Silizium auf SOI SubstratenKonferenzbeitrag Inproceedings2013
4Kucera, Martin ; Wistrela, Elisabeth ; Hofbauer, Franz ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich Sensitivitätssteigerung von piezoelektrischen, resonant angetriebenen Mikrosensoren durch digitale Q-FaktorverstärkungKonferenzbeitrag Inproceedings2013
5Kirsch, Christian ; Feili, Dara ; Schmid, Ulrich ; Balck, A. ; Leester-Schaedel, Monika ; Büttgenbach, S. ; Seidel, Helmut Untersuchung des Bucklingeffektes an mittels gesputtertem Wolfram vorgespannten Siliziummembranen für MikroaktorikanwendungenKonferenzbeitrag Inproceedings2013