Multi-Scale-Prozessmodellierung von Halbleiter-Bauelemente und -Sensoren

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Primary Data

Project Acronym Projekt Kurzbezeichnung
CDL_ProMod
 
Project Title (de) Projekttitel (de)
Multi-Scale-Prozessmodellierung von Halbleiter-Bauelemente und -Sensoren
 
Project Title (en) Projekttitel (en)
Multi-Scale Process Modeling of Semiconductor Devices and Sensors
 
Consortium Coordinator Koordinator des Konsortiums
 
Principal Investigator Projektleiter_in
 

Grants

Funder/Funding Agency Fördergeber
Christian Doppler Forschungsgesells
Grant number Förderkennnummer
00000
 

Publications

Filter:
Author:  Baumgartner, Oskar

Results 1-2 of 2 (Search time: 0.003 seconds).

PreviewAuthor(s)TitleTypeIssue Date
1Filipovic, Lado ; Reiter, Tobias ; Klemenschits, Xaver ; Leroch, Sabine ; Stella, Robert ; Baumgartner, Oskar ; Hössinger, Andreas Process Simulation in Micro- and Nano-ElectronicsInproceedings Konferenzbeitrag 12-Jun-2023
2Bobinac-2023-Micromachines-vor.pdf.jpgBobinac, Josip ; Reiter, Tobias ; Piso, Julius ; Klemenschits, Xaver ; Baumgartner, Oskar ; Stanojevic, Zlatan ; Strof, Georg ; Karner, Markus ; Filipovic, Lado Effect of Mask Geometry Variation on Plasma Etching ProfilesArticle Artikel 16-Mar-2023