Datensatz Zitierlink: 
http://hdl.handle.net/20.500.12708/189406
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Titel: 
Process Simulation in Micro- and Nano-Electronics
en
Zitat: 
Filipovic, L., Reiter, T., Klemenschits, X., Leroch, S., Stella, R., Baumgartner, O., & Hössinger, A. (2023). Process Simulation in Micro- and Nano-Electronics. In Book of abstracts of the International Workshop on Computational Nanotechnology 2023 (pp. 38–39). http://hdl.handle.net/20.500.12708/189406
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Publikationstyp: 
Konferenzbeitrag - Beitrag in einem Abstract Book
de
Sprache: 
Englisch
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Autor_innen: 
Filipovic, Lado 
Reiter, Tobias 
Klemenschits, Xaver 
Leroch, Sabine 
Stella, Robert 
Baumgartner, Oskar 
Hössinger, Andreas 
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Organisations­einheit: 
E360 - Institut für Mikroelektronik 
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Erschienen in: 
Book of abstracts of the International Workshop on Computational Nanotechnology 2023 
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ISBN: 
978-84-09-51107-5
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Datum (veröffentlicht): 
12-Jun-2023
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Veranstaltungs­name: 
International Workshop on Computational Nanotechnology (IWCN 2023) 
en
Veranstaltungs­zeitraum: 
12-Jun-2023 - 16-Jun-2023
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Veranstaltungs­ort: 
Barcelona, Spanien
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Umfang: 
2
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Peer Reviewed: 
Ja
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Keywords: 
Nano-electronics; Process Simulation; TCAD
en
Forschungs­infrastruktur: 
Vienna Scientific Cluster 
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Projekttitel: 
Multi-Scale-Prozessmodellierung von Halbleiter-Bauelemente und -Sensoren: 00000 (Christian Doppler Forschungsgesells) 
Prozessabhängige Struktur-Emulation als Kooptimierungsstrategie für die Bauelementetechnologie: Not yet assigned (FFG - Österr. Forschungsförderungs- gesellschaft mbH; Global TCAD Solutions GmbH) 
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Link (extern): 
https://iwcn2023.uab.es/IWCN2023_book_of_abstracts.pdf
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Forschungs­schwerpunkte: 
Nanoelectronics: 50%
Modeling and Simulation: 50%
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Wissenschafts­zweig: 
2020 - Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik: 100%
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Enthalten in den Sammlungen:
Conference Paper

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