Prozessabhängige Struktur-Emulation als Kooptimierungsstrategie für die Bauelementetechnologie

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Primary Data

Project Acronym Projekt Kurzbezeichnung
PASTE-DTCO
 
Project Title (de) Projekttitel (de)
Prozessabhängige Struktur-Emulation als Kooptimierungsstrategie für die Bauelementetechnologie
 
Project Title (en) Projekttitel (en)
Process-Aware Structure Emulation for Device-Technology Co-Optimization
 
Consortium Coordinator Koordinator des Konsortiums
 
Principal Investigator Projektleiter_in
 

Grants

Funder/Funding Agency Fördergeber
Global TCAD Solutions GmbH
Grant number Förderkennnummer
Not yet assigned
 

Publications

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PreviewAuthors / EditorsTitleTypeIssue Date
1Bobinac-2023-Micromachines-vor.pdf.jpgBobinac, Josip ; Reiter, Tobias ; Piso, Julius ; Klemenschits, Xaver ; Baumgartner, Oskar ; Stanojevic, Zlatan ; Strof, Georg ; Karner, Markus ; Filipovic, Lado Effect of Mask Geometry Variation on Plasma Etching ProfilesArticle Artikel 16-Mar-2023
2Aguinsky, Luiz Felipe ; Souza Berti Rodrigues, Francio ; Reiter, Tobias ; Klemenschits, Xaver ; Filipovic, Lado ; Hössinger, Andreas ; Weinbub, Josef Modeling Incomplete Conformality During Atomic Layer Deposition in High Aspect Ratio StructuresArticle Artikel 1-Mar-2023
3Aguinsky-2023-Solid-State Electronics-vor.pdf.jpgAguinsky, Luiz Felipe ; Souza Berti Rodrigues, Francio ; Reiter, Tobias ; Klemenschits, Xaver ; Filipovic, Lado ; Hössinger, Andreas ; Weinbub, Josef Modeling Incomplete Conformality During Atomic Layer Deposition in High Aspect Ratio StructuresArticle Artikel Mar-2023
4Filipovic, Lado ; Baumgartner, Oskar ; Klemenschits, Xaver ; Piso, Julius ; Bobinac, Josip ; Reiter, Tobias ; Strof, Georg ; Rzepa, Gerhard ; Stanojevic, Zlatan ; Karner, Markus DTCO flow for air spacer generation and its impact on power and performance at N7Article Artikel Jan-2023
5Reiter, Tobias ; Klemenschits, Xaver ; Filipovic, Lado Modeling Plasma-Induced Damage During the Dry Etching of SiliconInproceedings Konferenzbeitrag9-Oct-2022
6Filipovic, Lado Reliability of Platinum Microheater Geometries for MEMS-Based Gas SensorsInproceedings Konferenzbeitrag2022