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Full name Familienname, Vorname
Schmid, Peter
 
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1Schmid, P. ; Triendl, F. ; Zarfl, C. ; Schwarz, S. ; Artner, W. ; Schneider, M. ; Schmid, U. Influence of the AlN/Pt-ratio on the electro-mechanical properties ofmultilayered AlN/Pt thin film strain gauges at high temperaturesArtikel Article 2020
2Schmid Peter - 2020 - Robuste Duennschicht-Dehnmessstreifen fuer...pdf.jpgSchmid, Peter Robuste Dünnschicht-Dehnmessstreifen für Hochtemperatur-DrucksensorenThesis Hochschulschrift 2020
3Schmid, P. ; Triendl, F. ; Zarfl, C. ; Schwarz, S. ; Artner, W. ; Schneider, M. ; Schmid, U. Electro-mechanical Properties of Multilayered Aluminum Nitride and Platinum Thin Films at High TemperaturesArtikel Article 2019
4Schmid, P. ; Zarfl, C. ; Triendl, F. ; Maier, F.J. ; Schwarz, S. ; Schneider, M. ; Schmid, U. Impact of adhesion promoters and sputter parameters on theelectro-mechanical properties of Pt thin films at high temperaturesArtikel Article 2018
5Zarfl, C. ; Schwab, S. ; Schmid, P. ; Hutter, H. ; Schmid, U. Influence of the sputter gas composition on the electromechanicalproperties and on the stability of TiAlNxO1-xthin filmsArtikel Article 2017
6Zarfl, C. ; Schmid, P. ; Schmid, U. A Novel Miniaturised Sensor for Combined Static and Dynamic Pressure Measurements in Harsh EnvironmentsKonferenzbeitrag Inproceedings 2016
7Zarfl, C. ; Schmid, P. ; Balogh, G. ; Schmid, U. Electro-mechanical properties and oxidation behaviour of TiAlNxOythin films at high temperaturesArtikel Article2015
8Schmid, P. ; Zarfl, C. ; Balogh, G. ; Schmid, U. Gauge Factor of Titanium/Platinum Thin Films up to 350°CKonferenzbeitrag Inproceedings 2014
9Schneider, M. ; Bittner, A. ; Schmid, P. ; Schmid, U. Impact of C-axis Orientation of Aluminium Nitride Thin Films on the Long-term Stability and Mechanical Properties of Resonantly Excited MEMS CantileversKonferenzbeitrag Inproceedings 2014
10Zarfl, C. ; Schmid, P. ; Balogh, G. ; Schmid, U. TiAlN Thin Films as High Temperature Strain GaugesKonferenzbeitrag Inproceedings 2014
11Schmid, Peter Druck- und temperaturabhängiges Resonanzverhalten von Aluminiumnitrid basierten MEMS-BauelementenThesis Hochschulschrift2013

Contributing Publications Mitbeteiligte Publikationen

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1Senger, Kira Umbau und Charakterisierung eines HochtemperaturleckstrommessplatzesThesis Hochschulschrift2017