Name Card

Full name Familienname, Vorname
Bersani, M.
 

Own Publications Eigene Publikationen

Results 1-20 of 23 (Search time: 0.001 seconds).

PreviewAuthor(s)TitleTypeIssue Date
1Pepponi, Giancarlo ; Meirer, F. ; Brigidi, Fabio ; Demenev, E. ; Giubertoni, D. ; Gennaro, S. ; Bersani, M. ; Ingerle, D. ; Streli, Christina ; Steinhauser, Georg ; Mehta, A. ; Pianetta, P. ; Vishwanath, V. ; Foad, M.A. GIXRF and GEXRF analysis of PIII ultra shallow arsenic profiles in SiliconPräsentation Presentation2013
2Meirer, F. ; Demenev, E. ; Giubertoni, D. ; Gennaro, S. ; Vanzetti, L. ; Pepponi, G. ; Bersani, M. ; Sahiner, M. A. ; Steinhauser, G. ; Foad, M. A. ; Woicik, J. C. ; Mehta, A. ; Pianetta, P. Formation Of Arsenic Rich Silicon Oxide Under Plasma Immersion Ion Implantation And Laser AnnealingArtikel Article2012
3Pepponi, Giancarlo ; Meirer, F. ; Sahiner, M.A. ; Giubertoni, D. ; Gennaro, S. ; Demenev, E. ; Woicik, J.C. ; Bersani, M. ; Foad, M.A. ; Streli, Christina ; Pianetta, P. GI-EXAFS of Arsenic ultra shallow junctions in Silicon formed by beamline and plasma immersion ion implantation and laser annealingPräsentation Presentation2010
4Pepponi, Giancarlo ; Giubertoni, D. ; Bersani, M. ; Meirer, F. ; Streli, Christina Grazing Incidence X-Ray Fluorescence Analysis and X-ray Absorption applied to the characterisation of As shallow implants in SiPräsentation Presentation2010
5Pepponi, Giancarlo ; Meirer, F. ; Sahiner, M.A. ; Giubertoni, D. ; Gennaro, S. ; Demenev, E. ; Bersani, M. ; Foad, M.A. ; Streli, Christina ; Pianetta, P. Grazing Incidence X-Ray Absorption Applied To The Characterisation Of As Shallow Implants In SiPräsentation Presentation2010
6Pepponi, Giancarlo ; Giubertoni, D. ; Bersani, M. ; Meirer, F. ; Ingerle, D. ; Steinhauser, Georg ; Streli, Christina ; Hoenicke, P. ; Beckhoff, B. Grazing incidence x-ray fluorescence and secondary ion mass spectrometry combined approach for the characterization of ultrashallow arsenic distribution in siliconArtikel Article2010
7Giubertoni, D. ; Pepponi, Giancarlo ; Sahiner, M.A. ; Kelty, S.P. ; Gennaro, S. ; Bersani, M. ; Kah, M. ; Kirkby, K.J. ; Doherty, R. ; Foad, M.A. ; Meirer, F. ; Streli, Christina ; Woicik, J.C. ; Pianetta, P. Deactivation of submelt laser annealed arsenic ultrashallow junctions in silicon during subsequent thermal treatmentArtikel Article 2010
8Beckhoff, B. ; Kolbe, M. ; Müller, M. ; Nutsch, A. ; Altmann, R. ; Borionetti, G. ; Pello, C. ; Polgnano, M.L. ; Codegoni, C. ; Grasso, S. ; Cazzini, E. ; Bersani, M. ; Lazzeri, P. ; Gennaro, S. ; Kregsamer, Peter ; Posch, F. Investigation of Spin-coated inorganic contamination on Si surfacs by various analytical techniquesPräsentation Presentation2010
9Giubertoni, D. ; Pepponi, Giancarlo ; Sahiner, M.A. ; Kelty, S.P. ; Kah, M. ; Kirkby, K.J. ; Meirer, F. ; Gennaro, S. ; Doherty, R. ; Foad, M.A. ; Woicik, J.C. ; Streli, Christina ; Bersani, M. ; Pianetta, P. Deactivation of sub-melt laser annealed arsenic ultra shallow junctions in silicon during subsequent thermal treatmentPräsentation Presentation2009
10Pepponi, Giancarlo ; Meirer, F. ; Giubertoni, D. ; Ingerle, D. ; Steinhauser, Georg ; Streli, Christina ; Hoenicke, P. ; Beckhoff, B. ; Bersani, M. Grazing Incidence x-ray fluorescence and secondary ion mass spectrometry combined approach for characterization of ultra shallow arsenic distribution in siliconPräsentation Presentation2009
11Giubertoni, D. ; Pepponi, Giancarlo ; Beckhoff, B. ; Hoenicke, P. ; Gennaro, S. ; Meirer, F. ; Ingerle, D. ; Steinhauser, Georg ; Fried, M. ; Petrik, P. ; Parisini, A. ; Reading, M.A. ; Streli, Christina ; van den Berg, J.A. ; Bersani, M. Multi-technique characterization of arsenic ultra shallow junctions in silicon within the ANNA consortiumPräsentation Presentation2009
12Bersani, M. ; Pepponi, Giancarlo ; Giubertoni, D. ; Gennaro, S. ; Sahiner, M.A. ; Kelty, S.P. ; Kah, M. ; Kirkby, K.J. ; Doherty, R. ; Foad, M.A. ; Meirer, F. ; Streli, Christina ; Woicik, J.C. ; Pianetta, P. Characterization of Junction Activation and Deactivation Using non-Equilibrium Annealing: Solid Phase Epitaxy, Spike Annealing, Laser AnnealingPräsentation Presentation2009
13Pepponi, Giancarlo ; Giubertoni, D. ; Bersani, M. ; Meirer, F. ; Streli, Christina Review of GIXRF applied to the quantification of ion implantsPräsentation Presentation2009
14Nutsch, A. ; Beckhoff, B. ; Altmann, R. ; van den Berg, J.A. ; Giubertoni, D. ; Hoenicke, P. ; Bersani, M. ; Leibold, A. ; Meirer, F. ; Müller, M. ; Pepponi, Giancarlo ; Otto, M. ; Petrik, P. ; Reading, M.A. ; Pfitzner, L. ; Ryssel, H. Complementary metrology within a European joint laboratoryKonferenzbeitrag Inproceedings 2009
15Beckhoff, B. ; Nutsch, A. ; Altmann, R. ; Borionetti, G. ; Pello, C. ; Polignano, M.L. ; Codegoni, D. ; Grasso, S. ; Cazzini, E. ; Bersani, M. ; Gennaro, S. ; Kolbe, M. ; Müller, M. ; Kregsamer, Peter ; Posch, F. Assessing Various Analytical Techniques With Different Lateral Resolution By Investigating Spin-coated Inorganic Contamination On Si SurfacesKonferenzbeitrag Inproceedings 2009
16Beckhoff, B. ; Nutsch, A. ; Altmann, R. ; Borionetti, G. ; Pello, C. ; Polignano, M.L. ; Codegoni, D. ; Grasso, S. ; Cazzini, E. ; Bersani, M. ; Lazzeri, P. ; Gennaro, S. ; Kolbe, M. ; Müller, M. ; Kregsamer, Peter ; Posch, F. Highly sensitive detection of inorganic contaminationKonferenzbeitrag Inproceedings 2009
17Beckhoff, B. ; Nutsch, A. ; Altmann, R. ; Borionetti, G. ; Pello, C. ; Polignano, M.L. ; Codegoni, D. ; Grasso, S. ; Cazzini, E. ; Bersani, M. ; Lazzeri, P. ; Gennaro, S. ; Kolbe, M. ; Müller, M. ; Kregsamer, Peter ; Posch, F. Assessing various analytical techniques with different lateral resolution by investigating spin-coated inorganic contamination on Si surfacesPräsentation Presentation2009
18Pepponi, Giancarlo ; Giubertoni, D. ; Bersani, M. ; Zöger, N. ; Streli, Christina ; Beckhoff, B. ; Hoenicke, P. ; Kolbe, M. ; Müller, M. ; Meirer, F. Grazing Incidence X-Ray Fluorescence characterisation of Ultra Shallow Junctions in the ANNA consortiumPräsentation Presentation2008
19Pepponi, Giancarlo ; Lazzeri, P. ; Bersani, M. ; Kashani, B. ; Contardi, L. ; Zöger, N. ; Jokubonis, C. ; Streli, Christina ; Wobrauschek, Peter ; Gottardini, E. ; Corradini, F. ; Larcher, R. ; Falkenberg, G. Homogeneity study of traces in pine pollen with SR-µXRFBericht Report2006
20Pepponi, Giancarlo ; Streli, Christina ; Jokubonis, C. ; Wobrauschek, Peter ; Giubertoni, D. ; Bersani, M. ; Falkenberg, G. Characterisation of Arsenic Ultra Shallow Junctions by grazing Incidence Fluorescence EXAFSPräsentation Presentation2005