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Jogl, C. (2003). Aufbau einer Analge zur Durchführung von quasi-insitu-XPS-Untersuchungen an elektrochemisch hergestellten Filmen. Seminar Institut für Allgemeine Physik (IAP), TU Wien, Austria. http://hdl.handle.net/20.500.12708/124591
E134-01 - Forschungsbereich Applied and Computational Physics
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Date (published):
2003
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Event name:
Seminar Institut für Allgemeine Physik (IAP)
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Event date:
17-Dec-2002
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Event place:
TU Wien, Austria
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Abstract:
Die elektrochemische Abscheidung von dünnen Schichten ist von grosser industrieller Bedeutung. Um den Schichtaufbau zu analysieren, müssen die ersten Monolagen der Schicht untersucht werden, ohne die Probe an die Umgebungsluft zu bringen.
Es wurde ein Anbau an das bestehende Elektronenspektrometer konstruiert: Die Probe wird zunächst durch eine Transferzelle in die elektrochemische Zelle bewegt, ...
Die elektrochemische Abscheidung von dünnen Schichten ist von grosser industrieller Bedeutung. Um den Schichtaufbau zu analysieren, müssen die ersten Monolagen der Schicht untersucht werden, ohne die Probe an die Umgebungsluft zu bringen.
Es wurde ein Anbau an das bestehende Elektronenspektrometer konstruiert: Die Probe wird zunächst durch eine Transferzelle in die elektrochemische Zelle bewegt, wo die elektro-chemische Beschichtung in He-Atmosphäre stattfindet. Nach der Beschichtung wird die Probe in der Zelle gewaschen, getrocknet und in das Spektrometer zurücktransferiert. Erste Versuche bestätigen die Nutzbarkeit des Aufbaues.
Zur Bestimmung der abgeschiedenen Schichtdicken wurden winkelabhängige Messungen heran-gezogen. Die Resultate dieser Messungen stimmen gut mit den aufgrund der Abscheidungs-parameter erwarteten Werten überein.