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<div class="csl-entry">Gillinger, M., Shaposhnikov, K., Knobloch, T., Schneider, M., Kaltenbacher, M., & Schmid, U. (2016). Impact of layer and substrate properties on the surface acoustic wave velocity in scandium doped aluminum nitride based SAW devices on sapphire. <i>Applied Physics Letters</i>, <i>108</i>(23), Article 231601. https://doi.org/10.1063/1.4953259</div>
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AIP PUBLISHING
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Applied Physics Letters
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Physics and Astronomy (miscellaneous)
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Impact of layer and substrate properties on the surface acoustic wave velocity in scandium doped aluminum nitride based SAW devices on sapphire
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Original Research Article
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Applied Physics Letters
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Andere Naturwissenschaften
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Numerische Ingenieursmethoden und IT gestütztes Engineering
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Numerische Ingenieursmethoden und IT gestütztes Engineering
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E350 - Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik