Stabilitatsverbesserungen von Massenspektrometern und Teilchenstrahlmikroskopen

Abstract

Instabilitaten der steuernden Felder reduzieren die Qualitat der mit Massenspektrometern oder Teilchenstrahlrnikroskopen durchgefiihrten Messungen oft betrachtlich. Vorliegender Bericht beschreibt Grundlagen dieser Probleme sowie bewahrte Abhilfen. Zuerst werden die storenden Instabilitaten in drei Gruppen eingeteilt. Damit wird eine einfache Zuordnung von MeBproblem und Konstruktionsproblem moglich. Der zweite Teil behandelt die besonderen Probleme einzelner Bauelemente, deren Beitrag zu Instabilitaten und Ersatzvorschlage. Irn letzten Teil werden anhand ausgewahlter Beispiele problematische Schaltungen und deren Verbesserung diskutiert.