Integration of digital image processing in a digital microscopy system for measurement and analysis of nano, micro and macro scaled structures

Abstract

In dieser Arbeit werden Nano-, Mikro- und Makrostrukturen mit digitalen Bildverarbeitungsmethoden untersucht. Alle Messungen werden im Feinstmessraum und im Nanotechnologielabor durchgeführt. Eine Software wird in ein digitales Mikroskopsystem integriert und die Ergebnisse werden mit anderen digitalen Mikroskopsystemen analysiert und verglichen. Das Ziel dieser Arbeit ist es, Werkstücke mit verschiedenen digitalen Bildverarbeitungssystemen zu messen, um die Vor- und Nachteile dieser Methoden sichtbar zu machen. Um dies zu erreichen, werden drei verschiedene Kameras verwendet. Mit diesen Kameras werden Bilder der Werkstücke angefertigt. Mit der digitalen Bildverarbeitungssoftware -Sherlock- werden dimensionale Messungen durchgeführt. Schlussendlich werden alle Messungen verglichen, um die genaueste Methoden zu finden.

In this thesis, nano-micro- and macro-scaled structures are examined with Digital Image Processing methods. All measurements are performed in High Precision Measurement Room-Nanometrology Laboratory. A software is integrated into a digital microscopy system and the results are analysed and compared with other digital microscopy systems. The aim of this thesis is to measure different workpieces using different digital image processing systems and to see advantages and disadvantages of these various methods. In order to achieve this 3 different cameras are used to acquire images from workpieces and dimensional measurements are performed using the digital image processing software -Sherlock- for inspection. Subsequently all measurements are compared with each other to discover the most accurate method.