DC Element
Wert
Sprache
dc.contributor.advisor
Bertagnolli, Emmerich
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dc.contributor.author
Gökdeniz, Zeynep Gökce
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dc.date.accessioned
2022-09-02T01:23:29Z
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dc.date.issued
2016
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dc.date.submitted
2016-11
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dc.identifier.citation
<div class="csl-bib-body"> <div class="csl-entry">Gökdeniz, Z. G. (2016). <i>Maskenlose Nano-Modifikation von Germanium-Halbleiterbauelementen mittels Chlor-basierter Elektronenstrahl-Prozessierung</i> [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/79080</div> </div>
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dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.12708/79080
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dc.description
Zusammenfassung in englischer Sprache
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dc.format
iii, 107 Seiten
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dc.language
Deutsch
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dc.language.iso
de
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dc.subject
Fokussierter Elektronenstrahl Ätzung
de
dc.subject
Chlor
de
dc.subject
Germanium
de
dc.subject
REM (Rasterelektronenmikroskop)
de
dc.subject
Halbleiterstrukturen
de
dc.subject
FEBIE (focused electron beam etching)
en
dc.subject
Chlorine
en
dc.subject
Germanium
en
dc.subject
SEM (Scanning Electron Microscop)
en
dc.subject
Semiconductor Device
en
dc.title
Maskenlose Nano-Modifikation von Germanium-Halbleiterbauelementen mittels Chlor-basierter Elektronenstrahl-Prozessierung
de
dc.type
Thesis
en
dc.type
Hochschulschrift
de
dc.contributor.affiliation
TU Wien, Österreich
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dc.publisher.place
Wien
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tuw.thesisinformation
Technische Universität Wien
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dc.contributor.assistant
Wanzenböck, Heinz
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tuw.publication.orgunit
E362 - Institut für Festkörperelektronik
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dc.type.qualificationlevel
Diploma
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dc.identifier.libraryid
AC13372841
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dc.description.numberOfPages
107
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dc.thesistype
Diplomarbeit
de
dc.thesistype
Diploma Thesis
en
tuw.advisor.staffStatus
staff
-
tuw.assistant.staffStatus
staff
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item.languageiso639-1
de
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item.openairetype
master thesis
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item.grantfulltext
none
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item.fulltext
no Fulltext
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item.cerifentitytype
Publications
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item.openairecristype
http://purl.org/coar/resource_type/c_bdcc
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crisitem.author.dept
E164-03-2 - Forschungsgruppe Mechanische Eigenschaften und Zuverlässigkeit
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crisitem.author.parentorg
E164-03 - Forschungsbereich Chemische Technologien
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Enthalten in den Sammlungen:
Thesis
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