Gökdeniz, Z. G. (2016). Maskenlose Nano-Modifikation von Germanium-Halbleiterbauelementen mittels Chlor-basierter Elektronenstrahl-Prozessierung [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/79080
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Number of Pages:
107
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Keywords:
Fokussierter Elektronenstrahl Ätzung; Chlor; Germanium; REM (Rasterelektronenmikroskop); Halbleiterstrukturen
de
FEBIE (focused electron beam etching); Chlorine; Germanium; SEM (Scanning Electron Microscop); Semiconductor Device
