Record link: 
http://hdl.handle.net/20.500.12708/79080
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Title: 
Maskenlose Nano-Modifikation von Germanium-Halbleiterbauelementen mittels Chlor-basierter Elektronenstrahl-Prozessierung
de
Citation: 
Gökdeniz, Z. G. (2016). Maskenlose Nano-Modifikation von Germanium-Halbleiterbauelementen mittels Chlor-basierter Elektronenstrahl-Prozessierung [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/79080
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CatalogPlus: 
AC13372841
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Publication Type: 
Thesis - Diplomarbeit
en
Language: 
German
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Authors: 
Gökdeniz, Zeynep Gökce 
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Advisor: 
Bertagnolli, Emmerich 
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Co-advisor: 
Wanzenböck, Heinz 
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Organisational Unit: 
E362 - Institut für Festkörperelektronik 
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Date (published): 
2016
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Number of Pages: 
107
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Keywords: 
Fokussierter Elektronenstrahl Ätzung; Chlor; Germanium; REM (Rasterelektronenmikroskop); Halbleiterstrukturen
de
 
FEBIE (focused electron beam etching); Chlorine; Germanium; SEM (Scanning Electron Microscop); Semiconductor Device
en
Additional information: 
Zusammenfassung in englischer Sprache
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Appears in Collections:
Thesis

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