Datensatz Zitierlink: 
http://hdl.handle.net/20.500.12708/79080
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Titel: 
Maskenlose Nano-Modifikation von Germanium-Halbleiterbauelementen mittels Chlor-basierter Elektronenstrahl-Prozessierung
de
Zitat: 
Gökdeniz, Z. G. (2016). Maskenlose Nano-Modifikation von Germanium-Halbleiterbauelementen mittels Chlor-basierter Elektronenstrahl-Prozessierung [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/79080
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CatalogPlus: 
AC13372841
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Publikationstyp: 
Hochschulschrift - Diplomarbeit
de
Sprache: 
Deutsch
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Autor_innen: 
Gökdeniz, Zeynep Gökce 
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Betreuer_in: 
Bertagnolli, Emmerich 
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Mitbetreuer_innen: 
Wanzenböck, Heinz 
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Organisations­einheit: 
E362 - Institut für Festkörperelektronik 
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Datum (veröffentlicht): 
2016
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Umfang: 
107
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Keywords: 
Fokussierter Elektronenstrahl Ätzung; Chlor; Germanium; REM (Rasterelektronenmikroskop); Halbleiterstrukturen
de
 
FEBIE (focused electron beam etching); Chlorine; Germanium; SEM (Scanning Electron Microscop); Semiconductor Device
en
Weitere Information: 
Zusammenfassung in englischer Sprache
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Enthalten in den Sammlungen:
Thesis

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