Record link: 
http://hdl.handle.net/20.500.12708/124402
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Title: 
Probleme bei der plasmaunterstützten Abscheidung aus der Gasphase von Aluminiumoxidschichten
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Citation: 
Laimer, J., Fink, M., & Störi, H. (2003). Probleme bei der plasmaunterstützten Abscheidung aus der Gasphase von Aluminiumoxidschichten. 53. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft, Salzburg, Austria. http://hdl.handle.net/20.500.12708/124402
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Publication Type: 
Präsentation - Conference Presentation
de
 
Presentation - Conference Presentation
en
Authors: 
Laimer, Johann 
Fink, Markus 
Störi, Herbert 
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Organisational Unit: 
E134-01 - Forschungsbereich Applied and Computational Physics 
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Date (published): 
2003
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Event name: 
53. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft 
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Event date: 
1-Oct-2003 - 2-Oct-2003
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Event place: 
Salzburg
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Event place: 
AT
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Science Branch: 
Physik, Mechanik, Astronomie
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Appears in Collections:
Presentation

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