In der vorliegenden Arbeit wurden großflächige photoleitende Antennen mit den Verfahren der Mikroelektronik hergestellt, deren Elektroden in einer verschränkten Kammstruktur angeordnet wurden. Um möglichst starke elektromagnetische Felder im Terahertz-Bereich zu erzeugen, wurden die vorgespannten Terahertz-Emitter mit ultrakurzen Laserpulsen aus einem Hochleistungs-Laserverstärkersystem angeregt und mittels zeitaufgelöster Spektroskopie untersucht. Anschließend wurde ein großflächiger Terahertz-Emitter, bestehend aus 16 voneinander unabhängig ansteuerbaren Antennen, die in einer 4×4 Matrix angeordnet sind, angefertigt, simuliert und vermessen.<br />
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In this work large-aperture photoconducting antennas with interdigitated electrodes were fabricated by using Microelectronic Process Technologies. The biased photoconductors were excited with a femtosecond Ti:sapphire laser-oscillator-amplifier system in order to achieve high electromagnetic fields within the terahertz range. The terahertz-signals were measured via time-domain spectroscopy.<br />Subsequently terahertz-emitters, consisting of 16 from each other independently controllable antennas arranged in a 4×4 matrix, were fabricated, simulated and measured.