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http://hdl.handle.net/20.500.12708/151246
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Title: 
Entwurf und Regelung eines Positioniersystems für robotergestützte Nanomesstechnik
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Citation: 
Thier, M., Saathof, R., Csencsics, E., Hainisch, R., Sinn, A., & Schitter, G. (2015). Entwurf und Regelung eines Positioniersystems für robotergestützte Nanomesstechnik. AT-AUTOMATISIERUNGSTECHNIK, 63, 727–738. http://hdl.handle.net/20.500.12708/151246
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Publication Type: 
Article - Original Research Article
en
Authors: 
Thier, Markus 
Saathof, Rudolf 
Csencsics, Ernst 
Hainisch, Reinhard 
Sinn, Andreas 
Schitter, Georg 
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Organisational Unit: 
E376-01 - Forschungsbereich Intelligente Mechatronische Systeme 
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Journal: 
AT-AUTOMATISIERUNGSTECHNIK 
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ISSN: 
0178-2312
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Date (published): 
2015
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Number of Pages: 
12
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Publisher: 
WALTER DE GRUYTER GMBH
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Peer reviewed: 
Yes
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Keywords: 
In-Prozess-Messtechnik; Präzisionspositionierung; Präzisionsmesstechnik; Instrumentierung.
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Abstract: 
In einer Produktionsumgebung beeinflussen mechanische Vibrationen den Relativabstand zwischen Inspektionsgerät und Werkstück, was für Messungen im Nanometerbereich hinderlich ist. Dieser Beitrag stellt eine Metrologieplattform zur Montage eines Inspektionsgerätes vor, diemittels eines H∞-Reglers den Relativabstand zum Werkstück konstant hält. Ein Laboraufbau mit einem Freiheitsgrad zeigt, dass in der Produktionsumgebung vorkommende Vibrationen um eine Größenordnung reduziert werden können, was eine Oberflächencharakterisierung im Nanometerbereich direkt in der Produktion ermöglicht.
de
Research Areas: 
Sensor Systems: 50%
Mathematical and Algorithmic Foundations: 50%
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Science Branch: 
Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik
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