Dünne Filme in Mikrometer-Dicke werden in vielen technologischen Feldern verwendet. Für manche von ihnen ist die thermische Leitfähigkeit ein wichtiges Merkmal, wenngleich auch nicht das Hauptmerkmal. Als Beispiel kann der Kunststoffträger einer elektronischen Schaltung genommen werden, welcher eine niedrige dielektrische Konstante haben soll, aber die Wärme schnellstmöglich ableiten sollte.<br />Die meisten Methoden um thermische Leitfähigkeit zu messen verwenden dicke Materialproben mit Probengeometrien die nicht ohne weiteres auf dünne Filme anwendbar sind. Die Materialeigenschaften von dicken und dünnen Proben des gleichen Materials können sich signifikant unterscheiden. Die Extrapolation von einer dicken auf eine dünne Probe kann irreführend sein, und deshalb sollte man die Materialeigenschaften von Proben dünner Schichten in der Größenordnung ihres Verwendungszweckes bestimmen.<br />In dieser Arbeit wurde eine stationäre Messmethode für die Messung dünner Schichten auf Trägern konzipiert, konstruiert , durch die hauseigene Werkstätte gefertigt und mit einer Serie von Referenzproben (NIST-Stahl verschiedener Dicken) getestet.<br />Mit dem vorliegenden Messaufbau kann ein gleichbleibender, unterschiedlich dick beschichteter Träger ohne aufwändige Probenpräparation vermessen werden. Der Messaufbau erlaubt es uns, da wir nicht die Temperaturdifferenz zwischen Basis und Heizer, sondern die Temperaturdifferenz des Heizers mit verschiedenen Heizströmen und ohne Heizstrom verwenden, die anfallenden Verlustleistungsunterschiede bei jeder Messtemperatur T sehr gering zu halten und so zu seriösen Ergebnissen zu kommen. Natürlich können auch Proben ohne Träger direkt gemessen werden. Außerdem kann die thermische Leitfähigkeit von jeweils unterschiedlich dicken Materialproben gemessen werden und dies ermöglicht es, zwischen dem Wärmewiderstand des Trägers, der Übergänge und der Materialprobe zu unterscheiden.
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Abweichender Titel laut Übersetzung der Verfasserin/des Verfassers
