Datensatz Zitierlink: 
http://hdl.handle.net/20.500.12708/168396
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Titel: 
2D-Inline-Thickness Monitoring with Imaging-Ellipsometry
en
Zitat: 
Bammer, F. (2022). 2D-Inline-Thickness Monitoring with Imaging-Ellipsometry [Presentation]. 2D-Inline-Thickness Monitoring with Imaging-Ellispometry, Austria.
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Publikationstyp: 
Vortrag - Presentation
de
Sprache: 
Englisch
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Autor_innen: 
Bammer, Ferdinand 
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Organisations­einheit: 
E311-02-2 - Forschungsgruppe Prozesstechnik 
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Datum (veröffentlicht): 
2022
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Veranstaltungs­name: 
2D-Inline-Thickness Monitoring with Imaging-Ellispometry 
en
Veranstaltungs­zeitraum: 
12-Apr-2022
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Veranstaltungs­ort: 
Austria
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Keywords: 
Ellipsometrie
en
Forschungs­schwerpunkte: 
Photonics: 100%
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Wissenschafts­zweig: 
2030 - Maschinenbau: 70%
2050 - Werkstofftechnik: 15%
2020 - Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik: 15%
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Enthalten in den Sammlungen:
Presentation

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