Datensatz Zitierlink: 
http://hdl.handle.net/20.500.12708/179975
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Titel: 
SIMS investigation at defect engineering for ion beam synthesis of SOI
en
Zitat: 
Hochegger, M. (2005). SIMS investigation at defect engineering for ion beam synthesis of SOI [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/179975
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CatalogPlus: 
AC04952531
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Publikationstyp: 
Hochschulschrift - Diplomarbeit
de
Sprache: 
Englisch
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Autor_innen: 
Hochegger, Markus 
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Betreuer_in: 
Hutter, Herbert 
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Organisations­einheit: 
E164 - Institut für Chemische Technologien und Analytik 
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Datum (veröffentlicht): 
2005
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Umfang: 
87
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Weitere Information: 
Zsfassung in dt. Sprache
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Enthalten in den Sammlungen:
Thesis

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