Wie die Nachfrage nach fortschrittlicheren Werkstoffen steigt, muss auch die Industrie, die diese Werkstoffe verarbeitet, mit dieser steigenden Nachfrage Schritt halten. Harte Schichten ermöglichen eine längere Lebensdauer von Bearbeitungswerkzeugen und vielseitigere Anwendungsbereiche. Vor weniger als zwei Jahrzehnten wurde die Welt der Materialwissenschaft mit den so genannten “Hochentropie-Legierungen” bekannt gemacht, ein Wissenschaftsbereich, der seither explosionsartig an Popularität gewonnen hat. Beschichtungen, die aus einer willkürlich angeordneten festen Mischung von mindestens fünf Primärelementen mit nahezu gleichen Anteilen bestehen, versprechen eine Revolution in der Industrie. Diese Arbeit konzentriert sich auf die Synthese von 5 neuen Hochentropie-Legierungen als Nitride, Oxy-Nitride und Si-legierte Nitride und untersucht deren Verhalten, nachdem sie über längere Zeit hohen Temperaturen unter Vakuum und in Umgebungsatmosphäre ausgesetzt waren. Die Grundlage für diese Arbeit lieferte Andreas Kretschmer, der 126 verschiedene hochentropische Nitride auf Al-Basis simulierte, von denen 22 durch “strain stabilization” den Beginn der Wurtzit-AlN Phase verzögern sollten. Von diesen 22 wurden 5 für die experimentelle Validierung ausgewählt. Proben von (Al,Cr,Ti,V,W)N, (Al,Cr,Mo,V,W)N, (Al,Hf,Ti,V,W)N,(Al,Cr,Hf,Ti,V)N, (Al,Cr,Hf,V,Zr)N sowie deren Gegenstücke aus oxy- und Si-legierten Nitriden wurden durch reaktives gepulstes DC-Magnetron Sputtern hergestellt, wobei ein reines Al-Target mit den zusätzlichen metallischen Legierungsstücken auf dem “racetrack” des Targets platziert wurde. Der experimentelle Teil der Studie ist in drei Hauptabschnitte unterteilt. Die erste Untersuchung konzentrierte sich darauf, wie sich die mechanischen Eigenschaften der Nitridbeschichtung nach Vakuumglühzyklen von bis zu 50 Stunden veränderten, und wie die Oxy-Nitride mit diesen Ergebnissen zusammenhängen. Keine der Proben zeigte Anzeichen von Wurtzitbildung, jedoch litten die Mo-haltigen Proben unter der Bildung von flüchtigen Oxiden. In 3 Fällen zeigten die Oxy-Nitride sowohl vor als auch nach dem Glühen eine höhere Härte. Es wurde auch beobachtet, dass das zulegierte Silizium sowohl die Härte als auch den Elastizitätsmodul der Beschichtungen im “as deposited” Zustand verringerte. Die zweite Untersuchung galt der Oxidationsbeständigkeit der Beschichtungen und der Frage, ob das zusätzliche Silizium die Oxidausbreitung in der Probe verzögern kann. Die Ergebnisse zeigten jedoch, dass alle, bis auf eine Probe porös wurden und viele während der Oxidationstests versagten. Im Fall von (Al,Cr,Ti,V,W)N erwies sich sowohl O- als auch Si-legiertes Nitrid als oxidationshämmend bei höheren Temperaturen, wobei Si eindeutig vorteilhafte Auswirkungen bei der Schaffung einer dichten, langsam wachsenden Oxidschicht zeigte.Schließlich wurde an den Nitrid- und Oxynitridproben eine qualitative Analyse der Bruchzähigkeit mittels “cube-corner indentation” durchgeführt, die zeigte, dass eine erhöhte Härte aufgrund von zusätzlichem Sauerstoff zu einer Versprödung der Beschichtung führen kann