Title: Fabrication and evaluation of different passivation layers for the germanium - insulator interface using plasma enhanced ALD
Other Titles: Herstellung und Charakterisierung verschiedener Passivierungen für die Germanium - Dielektrikum Grenzfläche mit Hilfe einer plasma enhanced ALD
Language: English
Authors: Solfronk, Oliver 
Qualification level: Diploma
Advisor: Weber, Walter Michael  
Assisting Advisor: Sistani, Masiar  
Issue Date: 2021
Citation: 
Solfronk, O. (2021). Fabrication and evaluation of different passivation layers for the germanium - insulator interface using plasma enhanced ALD [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. https://doi.org/10.34726/hss.2021.88280
Number of Pages: 85
Qualification level: Diploma
Abstract: 
Die Aufgabe dieser Masterarbeit ist es, verschiedene Passivierungen der Germanium-Dielektrikum Grenzfläche herzustellen und zu testen. Dazu werden verschiedene Methoden mit Hilfe einer plasma enhanced ALD ausprobiert und danach optisch und elektrisch charakterisiert. Mit diesen Daten soll danach ein Vergleich der Methoden aufgestellt werden.

This master thesis focuses on the different possibilities to passivate the interface between germanium and a high-k insulator. In the first part of the thesis, different passivation layers are developed using a plasma enhanced ALD, connected to a UHV system to ensure the highest level of cleanliness of the germanium surface and to minimize the oxygen content. After the fabrication step, a comparison of the passivation methods is performed using the data extracted from optical and electrical characterization.
Keywords: Germanium; MIS Kondensator; Transistor
Germanium; MIS capacitor; transistor
URI: https://doi.org/10.34726/hss.2021.88280
http://hdl.handle.net/20.500.12708/19221
DOI: 10.34726/hss.2021.88280
Library ID: AC16410955
Organisation: E362 - Institut für Festkörperelektronik 
Publication Type: Thesis
Hochschulschrift
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