Solfronk, O. (2021). Fabrication and evaluation of different passivation layers for the germanium - insulator interface using plasma enhanced ALD [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. https://doi.org/10.34726/hss.2021.88280
Die Aufgabe dieser Masterarbeit ist es, verschiedene Passivierungen der Germanium-Dielektrikum Grenzfläche herzustellen und zu testen. Dazu werden verschiedene Methoden mit Hilfe einer plasma enhanced ALD ausprobiert und danach optisch und elektrisch charakterisiert. Mit diesen Daten soll danach ein Vergleich der Methoden aufgestellt werden.
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This master thesis focuses on the different possibilities to passivate the interface between germanium and a high-k insulator. In the first part of the thesis, different passivation layers are developed using a plasma enhanced ALD, connected to a UHV system to ensure the highest level of cleanliness of the germanium surface and to minimize the oxygen content. After the fabrication step, a comparison of the passivation methods is performed using the data extracted from optical and electrical characterization.
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Abweichender Titel nach Übersetzung der Verfasserin/des Verfassers
