Datensatz Zitierlink: 
http://hdl.handle.net/20.500.12708/208807
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Titel: 
On the Use of Spectroscopic Imaging Ellipsometry for Quantification and Characterisation of Defects in Thin Films for Power Electronics
en
Zitat: 
Ermilova, E., Klapetek, P., Pfusterschmied, G., Nanjappan, C., Schmid, U., & Hertwig, A. (2024, May 29). On the Use of Spectroscopic Imaging Ellipsometry for Quantification and Characterisation of Defects in Thin Films for Power Electronics [Conference Presentation]. EMRS Spring Meeting 2024 - ALTECH 2024, Strasbourg, France. http://hdl.handle.net/20.500.12708/208807
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Publikationstyp: 
Vortrag - Konferenz Präsentation
de
Sprache: 
Englisch
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Autor_innen: 
Ermilova, Ekaterina 
Klapetek, Petr 
Pfusterschmied, Georg 
Nanjappan, Chezhiyan 
Schmid, Ulrich 
Hertwig, Andreas 
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Organisations­einheit: 
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik 
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Datum (veröffentlicht): 
29-Mai-2024
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Veranstaltungs­name: 
EMRS Spring Meeting 2024 - ALTECH 2024 
en
Veranstaltungs­zeitraum: 
27-Mai-2024 - 31-Mai-2024
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Veranstaltungs­ort: 
Strasbourg, Frankreich
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Keywords: 
Spectroscopic Imaging Ellipsometry; Quantification; Characterisation; Thin films; Power Electronics
en
Forschungs­schwerpunkte: 
Materials Characterization: 100%
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Wissenschafts­zweig: 
2020 - Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik: 100%
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Enthalten in den Sammlungen:
Presentation

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aufgerufen am 16.01.2025

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