Record link: 
http://hdl.handle.net/20.500.12708/225188
-
Title: 
Polarisation und Ellipsometrie: Bildgebung jenseits des Sichtbaren
de
Citation: 
Bammer, F. (2025, August 7). Polarisation und Ellipsometrie: Bildgebung jenseits des Sichtbaren [Interview]. Industriemacher. http://hdl.handle.net/20.500.12708/225188
-
Publication Type: 
Special Contribution - Interview
en
Language: 
German
-
Authors: 
Bammer, Ferdinand 
-
Organisational Unit: 
E311-02-2 - Forschungsgruppe Prozesstechnik 
-
Date (published): 
7-Aug-2025
-
Number of Pages: 
2
-
Publisher: 
Industriemacher
-
Keywords: 
Ellipsometrie; Qualitätssicherung; Inline Messtechnik; Schichtdickenbestimmung; Schichtdickenmessung
de
Abstract: 
Die Forschungsgruppe Prozesstechnik am Institut für Fertigungstechnik und Photonische Technologien der TU Wien hat ein echtzeitfähiges System zur Inline-Überwachung der Qualität von Schichten entwickelt und setzt dabei auf Polarisationskameras von SVS-Vistek.
de
Research Areas: 
Photonics: 30%
Sustainable Production and Technologies: 70%
-
Science Branch: 
2030 - Maschinenbau: 70%
2050 - Werkstofftechnik: 15%
2020 - Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik: 15%
-
Appears in Collections:
Special Contribution

Show full item record

Google ScholarTM

Check