Smart Sensors, Actuators, and MEMS V

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Smart Sensors, Actuators, and MEMS V
 
Publisher Herausgeber
SPIE
 
Place of publishing Erscheinungsort
Volume 8066 / Washington
 

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1Makarczuk, Teresa ; Matin, Tina R. ; Karman, Salmah B. ; Diah, S. Zaleha M. ; Davaji, Benyamin ; Macqueen, Mark O. ; Mueller, Jeanette ; Schmid, Ulrich ; Gebeshuber, I.C. Biomimetic MEMS to assist, enhance and expand human sensory perceptions - A survey on state-of-the art developmentsKonferenzbeitrag Inproceedings2011
2Ruiz, David ; Hernando-Garcia, J. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich ; Gimzewski, J.K. ; Sánchez-Rojas, José Luis Characterization of the first in-plane mode of AlN-actuated microcantileversKonferenzbeitrag Inproceedings2011
3Hortschitz, Wilfried ; Kohl, Franz ; Steiner, Harald ; Sachse, Matthias ; Stifter, Michael ; Schalko, Johannes ; Jachimowicz, Artur ; Keplinger, Franz Design of Linear and Nonlinear Hybrid Optical MEMS Displacement SensorsKonferenzbeitrag Inproceedings2011
4Sen, S. ; Schneidhofer, C. ; Dörr, Nicole ; Vellekoop, Michael J. Evaluation of sensor arrays for engine oils using artificial oil alterationKonferenzbeitrag Inproceedings2011
5Steiner, Harald ; Sachse, Matthias ; Schalko, Johannes ; Hortschitz, Wilfried ; Kohl, Franz ; Jachimowicz, Artur Experimental setup for the coating of chlorosilane based self assembling monolayers to reduce stiction in MEMS devicesKonferenzbeitrag Inproceedings2011
6Mair, Florian ; Egretzberger, Markus ; Kugi, Andreas Hardware Implementation of an Electrostatic MEMS-Actuator LinearizationKonferenzbeitrag Inproceedings2011
7Schalko, Johannes ; Beigelbeck, Roman ; Stifter, Michael ; Schneider, Michael ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich Improved Load-Deflection Method for the Extraction of Elastomechanical Properties of Circularly-Shaped Thin-Film DiaphragmsKonferenzbeitrag Inproceedings2011
8Moscelli, Nicola ; Witarski, W. ; Van den Driesche, Sander ; Vellekoop, Michael J. In incubator live cell imaging platformKonferenzbeitrag Inproceedings2011
9Haas, T. ; Zeilmann, C. ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich Investigation on Micromachining Technologies for the Realization of LTCC Devices and SystemsKonferenzbeitrag Inproceedings2011
10Van den Driesche, Sander ; Haiden, Christoph ; Witarski, W. ; Vellekoop, Michael J. Mid-infrared CH2-stretch ratio sensor system for suspended mammalian cellsKonferenzbeitrag Inproceedings2011
11Alamin Dow, Ali B. ; Al-Rubaye, Hasan ; Koo, David ; Schneider, Michael ; Bittner, Achim ; Schmid, Ulrich ; Kherani, Nazir P. Modeling and Analysis of a Micromachined Piezoelectric Energy Harvester Stimulated by Ambient Random VibrationsKonferenzbeitrag Inproceedings2011
12Oliver, M. J. ; Hernando-Garcia, J. ; Ababneh, A. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich ; Olivares, J. ; Iborra, E. ; Pobedinskas, P. ; Haenen, K. ; Sànchez-Rojas, Jose Luis Resonant Piezoelectric AlN-actuated Microcantilevers For Detection Of Antigen/Antibody InteractionsKonferenzbeitrag Inproceedings2011
13Bittner, Achim ; Nagel, N. ; Seidel, Helmut ; Schmid, Ulrich The Impact of Substrate Properties on the Electromigration Resistance of Sputter-Deposited Cu Thin FilmsKonferenzbeitrag Inproceedings2011
14Bohnenberger, Timo ; Matovic, Jovan ; Schmid, Ulrich Thin Catalyst Layers Based on Carbon Nanotubes for PEM-Fuel Cell ApplicationsKonferenzbeitrag Inproceedings2011