Title: Strukturierung und Modifikation von Nano-Imprint-Lithographie-Stempeln mittels fokussiertem Ionen-Strahl
Language: Deutsch
Authors: Waid, Simon-Emanuel 
Qualification level: Diploma
Keywords: Nano; Lithographie; NIL; FIB; Fokussierter Ionenstral; Nano-Imprint-Lithographie; Strukturierung; Modifikation
Nano; Lithography; NIL; FIB; focussed-ion-beam; nano-imprint-lithography; structuring; modification
Advisor: Bertagnolli, Emmerich
Issue Date: 2009
Number of Pages: 64
Qualification level: Diploma
Abstract: 
In dieser Arbeit wird ein neuartiger, 3D-fäiger-Focused-Ion-Beam (FIB)-Prozess zur Modifikation und Strukturierung von SiO2 -Stempeln für Nano-Imprint-Lithography (NIL) entwickelt. Mit diesem Prozess konnten Strukturen mit einer Breite bis zu 30 nm hergestellt werden.
Unter Eingrenzung des zulässigen Aspektverhältnis auf 3:1, lag die erzielte Struktur-Breite bei bis zu 60 nm. Durch die Erzeugung von notchs, konnte eine Ausrichtgenauigkeit des Strahls zur Probe besser als 40nm nachgewiesen werden. Durch mehrmaliges Belichten der selben Struktur, lassen sich beinahe beliebige 3D-Strukturen mit Strukturbreiten bis zu 60nm erzeugen. NIL-Abzüge des modifizierten Stempels wurden von der Fa. Profaktor hergestellt. Die Abzüge zeigten eine gute Übereinstimmung mit den Stempel.

In this work a 3D-capable,Focused-Ion-Beam (FIB)-based modification-process for SiO2 -Nano-Imprint-Lithography (NIL)-Templates is developed. Patterns with resolution down to 30nm were successfully formed.
At an aspect-ratio of 3:1 the formation of structures with a width of 60nm was feasible. An alignement accuracy better than 40nm was shown by thinning existing mesas. 3D-Strctures were successfully created by milling. The minimum-feature-size of these structrues was again 60nm.
NIL-Imprints of the manufactued structures were produced by Profactor and showed a good agreement with the template- structures.
URI: https://resolver.obvsg.at/urn:nbn:at:at-ubtuw:1-30574
http://hdl.handle.net/20.500.12708/11739
Library ID: AC07806256
Organisation: E362 - Institut für Festkörperelektronik 
Publication Type: Thesis
Hochschulschrift
Appears in Collections:Thesis

Show full item record

Page view(s)

18
checked on Feb 26, 2021

Download(s)

94
checked on Feb 26, 2021

Google ScholarTM

Check


Items in reposiTUm are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.