Datensatz Zitierlink: 
http://hdl.handle.net/20.500.12708/153650
-
Titel: 
SiC Process Technologies for MEMS
en
Zitat: 
Schmid, U., Schneider, M., Leitgeb, M., & Pfusterschmied, G. (2022). SiC Process Technologies for MEMS [Conference Presentation]. MNE 2022 - Eurosensors, Leuven, Belgium.
-
Publikationstyp: 
Vortrag - Konferenz Präsentation
de
Sprache: 
Englisch
-
Autor_innen: 
Schmid, Ulrich 
Schneider, Michael 
Leitgeb, Markus 
Pfusterschmied, Georg 
-
Organisations­einheit: 
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik 
-
Datum (veröffentlicht): 
2022
-
Veranstaltungs­name: 
MNE 2022 - Eurosensors 
en
Veranstaltungs­zeitraum: 
19-Sep-2022 - 22-Sep-2022
-
Veranstaltungs­ort: 
Leuven, Belgien
-
Keywords: 
SiC; Process technologies; MEMS
en
Forschungs­schwerpunkte: 
Sensor Systems: 100%
-
Wissenschafts­zweig: 
2020 - Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik: 100%
-
Enthalten in den Sammlungen:
Presentation

Zur Langanzeige

Seiten Aufrufe

102
aufgerufen am 19.11.2023

Download(s)

1
aufgerufen am 19.11.2023

Google ScholarTM

Check