Datensatz Zitierlink: 
http://hdl.handle.net/20.500.12708/159140
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Titel: 
Untersuchung von ALD high-k Oxiden in MIM-Kondensatoren und Optimierung der Spannungs-Nichtlinearität für Zirkonoxid
de
Zitat: 
Simsek, S. (2014). Untersuchung von ALD high-k Oxiden in MIM-Kondensatoren und Optimierung der Spannungs-Nichtlinearität für Zirkonoxid [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/159140
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CatalogPlus: 
AC12102921
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Publikationstyp: 
Hochschulschrift - Diplomarbeit
de
Sprache: 
Deutsch
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Autor_innen: 
Simsek, Sinan 
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Betreuer_in: 
Bertagnolli, Emmerich 
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Mitbetreuer_innen: 
Bethge, Ole 
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Organisations­einheit: 
E362 - Institut für Festkörperelektronik 
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Datum (veröffentlicht): 
2014
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Umfang: 
98
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Weitere Information: 
Zsfassung in engl. Sprache
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Enthalten in den Sammlungen:
Thesis

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