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Erscheinungsjahr
Datensatz Zitierlink:
http://hdl.handle.net/20.500.12708/176842
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Titel:
Understanding interaction forces at silicon wafer interfaces to optimize nanoscale cleaning processes (poster)
en
Zitat:
Miano, D. (2023, May).
Understanding interaction forces at silicon wafer interfaces to optimize nanoscale cleaning processes (poster)
[Conference Presentation]. 2nd Conference of Applied Surface Technology (COAST 2023), Wien, TU, Austria. http://hdl.handle.net/20.500.12708/176842
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Publikationstyp:
Vortrag - Konferenz Präsentation
de
Sprache:
Englisch
-
Autor_innen:
Miano, Daniela
-
Organisationseinheit:
E134-02 - Forschungsbereich Applied Interface Physics
-
Datum (veröffentlicht):
Mai-2023
-
Veranstaltungsname:
2nd Conference of Applied Surface Technology (COAST 2023)
en
Veranstaltungszeitraum:
2-Mai-2023 - 3-Mai-2023
-
Veranstaltungsort:
Wien, TU, Österreich
-
Keywords:
Angewandte Grenzflächenphysik
de
Link (extern):
coast.cest.at
-
Forschungsschwerpunkte:
Materials Characterization: 50%
Surfaces and Interfaces: 50%
-
Wissenschaftszweig:
1030 - Physik, Astronomie: 100%
-
Enthalten in den Sammlungen:
Presentation
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