Record link: 
https://doi.org/10.34726/hss.2023.54860
http://hdl.handle.net/20.500.12708/176944
-
Title: 
Design der Strukturentwicklung in gesputterten Mehrkomponenten-Schichten mit Hilfe einer interaktiven Raytracing-Software
de
Citation: 
Böhm, D. (2023). Design der Strukturentwicklung in gesputterten Mehrkomponenten-Schichten mit Hilfe einer interaktiven Raytracing-Software [Dissertation, Technische Universität Wien]. reposiTUm. https://doi.org/10.34726/hss.2023.54860
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reposiTUm DOI: 
10.34726/hss.2023.54860
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CatalogPlus: 
AC16845684
-
Publication Type: 
Thesis - Dissertation
en
Language: 
German
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Authors: 
Böhm, David 
-
Advisor: 
Eisenmenger-Sittner, Christoph 
-
Organisational Unit: 
E138 - Institut für Festkörperphysik 
-
Date (published): 
2023
-
Number of Pages: 
167
-
Keywords: 
Kathodenzerstäubung; Mehrkomponentensysteme; Strukturbildung
de
 
Sputtering; Multi Component Materials; Structural Evolution
en
Additional information: 
Zusammenfassung in englischer Sprache
-
License: 
In Copyright
de
Appears in Collections:
Thesis

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