Record link: 
http://hdl.handle.net/20.500.12708/179908
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Title: 
Der Einfluss wasserstoffbehafteter Silizium-Prozessschritte auf die elektrischen Eigenschaften und die Zuverlässigkeit von Leistungshalbleiterbauelementen
de
Citation: 
Wissenwasser, J. (2005). Der Einfluss wasserstoffbehafteter Silizium-Prozessschritte auf die elektrischen Eigenschaften und die Zuverlässigkeit von Leistungshalbleiterbauelementen [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/179908
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CatalogPlus: 
AC04929379
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Publication Type: 
Thesis - Diploma Thesis
en
 
Hochschulschrift - Diplomarbeit
de
Language: 
German
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Authors: 
Wissenwasser, Jürgen 
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Advisor: 
Bertagnolli, Emmerich 
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Organisational Unit: 
E362 - Institut für Festkörperelektronik 
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Date (published): 
2005
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Number of Pages: 
105
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Appears in Collections:
Thesis

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