Datensatz Zitierlink: 
http://hdl.handle.net/20.500.12708/203821
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Titel: 
Roadmap for Focused Ion Beam Technologies
en
Zitat: 
Höflich, K., Hobler, G., Allen, F., Wirtz, T., Rius, G., & Hlawacek, G. (2024). Roadmap for Focused Ion Beam Technologies. In EIPBN 2024 Abstracts. 67th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN 2024), La Jolla, United States of America (the). http://hdl.handle.net/20.500.12708/203821
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Publikationstyp: 
Konferenzbeitrag - Beitrag in einem Abstract Book
de
Sprache: 
Englisch
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Autor_innen: 
Höflich, Katja 
Hobler, Gerhard 
Allen, Frances 
Wirtz, Tom 
Rius, Gemma 
Hlawacek, Gregor 
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Organisations­einheit: 
E362-02 - Forschungsbereich Nanoelektronische Bauelemente 
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Erschienen in: 
EIPBN 2024 Abstracts 
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Datum (veröffentlicht): 
31-Okt-2024
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Veranstaltungs­name: 
67th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN 2024) 
en
Veranstaltungs­zeitraum: 
28-Mai-2024 - 31-Mai-2024
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Veranstaltungs­ort: 
La Jolla, Vereinigte Staaten von Amerika
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Umfang: 
2
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Peer Reviewed: 
Ja
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Keywords: 
focused ion beam; ion sources; beam transport; detectors; correlative approach; binary collision approximation; molecular dynamics; kinetic Monte Carlo; continuum modeling; sputtering; secondary ion mass spectrometry; FIB induced deposition; plasmonics
en
Forschungs­schwerpunkte: 
Materials Characterization: 35%
Nanoelectronics: 30%
Modeling and Simulation: 35%
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Wissenschafts­zweig: 
2020 - Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik: 100%
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Enthalten in den Sammlungen:
Conference Paper

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