Datensatz Zitierlink: 
http://hdl.handle.net/20.500.12708/208774
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Titel: 
STRESS OPTIMIZATION IN MAGNETRON SPUTTERED ALN THIN FILMS FOR FABRICATING BISTABLE PIEZOMEMS MEMBRANES
en
Zitat: 
Muringakodan, S., Schmid, U., & Schneider, M. (2024, September). STRESS OPTIMIZATION IN MAGNETRON SPUTTERED ALN THIN FILMS FOR FABRICATING BISTABLE PIEZOMEMS MEMBRANES [Conference Presentation]. MNE 2024 - 50th International conference on Micro and Nano Engineering, Montpellier, France. http://hdl.handle.net/20.500.12708/208774
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Publikationstyp: 
Vortrag - Konferenz Präsentation
de
Sprache: 
Englisch
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Autor_innen: 
Muringakodan, Shareena 
Schmid, Ulrich 
Schneider, Michael 
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Organisations­einheit: 
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik 
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Datum (veröffentlicht): 
Sep-2024
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Veranstaltungs­name: 
MNE 2024 - 50th International conference on Micro and Nano Engineering 
en
Veranstaltungs­zeitraum: 
16-Sep-2024 - 19-Sep-2024
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Veranstaltungs­ort: 
Montpellier, Frankreich
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Keywords: 
STRESS OPTIMIZATION; Magnetron sputtered; AlN; thin films
en
Forschungs­schwerpunkte: 
Materials Characterization: 50%
Modeling and Simulation: 50%
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Wissenschafts­zweig: 
2020 - Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik: 100%
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Enthalten in den Sammlungen:
Presentation

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