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Erscheinungsjahr
Datensatz Zitierlink:
http://hdl.handle.net/20.500.12708/210183
-
Titel:
Modeling polycrystalline diamond MEMS resonators
en
Zitat:
Gesing, A. L., Huber, D., Steinmüller-Neth, D., Pfusterschmied, G., Platz, D., & Schmid, U. (2024). Modeling polycrystalline diamond MEMS resonators. In
19th International Workshop on Nanomechanical Sensing
(pp. 114–114).
-
Publikationstyp:
Konferenzbeitrag - Beitrag in einem Abstract Book
de
Sprache:
Englisch
-
Autor_innen:
Gesing, André L.
Huber, Dominik
Steinmüller-Neth, Doris
Pfusterschmied, Georg
Platz, Daniel
Schmid, Ulrich
-
Organisationseinheit:
E366-02 - Forschungsbereich Mikrosystemtechnik
E366-01 - Forschungsbereich Mikro- und Nanosensorik
E056-15 - Fachbereich Resilient Embedded Systems
-
Erschienen in:
19th International Workshop on Nanomechanical Sensing
-
Datum (veröffentlicht):
25-Jun-2024
-
Veranstaltungsname:
19th International Workshop on Nanomechanical Sensing
en
Veranstaltungszeitraum:
24-Jun-2024 - 27-Jun-2024
-
Veranstaltungsort:
Vienna, Österreich
-
Umfang:
1
-
Keywords:
MEMS resonators; polycrystalline diamond; modeling
en
Forschungsschwerpunkte:
Modeling and Simulation: 100%
-
Wissenschaftszweig:
2020 - Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik: 100%
-
Enthalten in den Sammlungen:
Conference Paper
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