Kügler, P. M. (2022). Investigation and optimization of backside metallizations for interconnects in semiconductor devices [Dissertation, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/79051
E164 - Institut für Chemische Technologien und Analytik
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Date (published):
2022
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Number of Pages:
129
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Keywords:
Metallisierungen; Halbleiter; ToF-SIMS
de
Metallizations; Semiconductors; ToF-SIMS
en
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