Datensatz Zitierlink: 
http://hdl.handle.net/20.500.12708/79751
-
Titel: 
Development and characterization of PZT thin films for MEMS applications
en
Zitat: 
Petschnigg, M. (2021). Development and characterization of PZT thin films for MEMS applications [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. http://hdl.handle.net/20.500.12708/79751
-
CatalogPlus: 
AC16148345
-
Publikationstyp: 
Hochschulschrift - Diplomarbeit
de
Sprache: 
Englisch
-
Autor_innen: 
Petschnigg, Madeleine 
-
Betreuer_in: 
Hutter, Herbert 
-
Organisations­einheit: 
E164 - Institut für Chemische Technologien und Analytik 
-
Datum (veröffentlicht): 
2021
-
Umfang: 
84
-
Keywords: 
Thin films; PZT; MEMS
en
Weitere Information: 
Zusammenfassung in deutscher Sprache
Abweichender Titel nach Übersetzung der Verfasserin/des Verfassers
-
Enthalten in den Sammlungen:
Thesis

Zur Langanzeige

Seiten Aufrufe

139
aufgerufen am 01.12.2023

Google ScholarTM

Check